功率半导体 -尊龙官方平台

半导体装备

功率半导体

  采用igbt及super junction等结构制造的功率器件,具有高速、低损耗的特点,在风电、光伏、智能电网、有轨交通、汽车电子等新兴产业上得到广泛应用。   

  在功率半导体领域,北方华创自主研发的刻蚀机、物理气相沉积设备、立式炉设备、清洗机、单/ 多片式硅外延设备以及卧式氧化/ 扩散炉已获得多家功率器件客户的认可和批量采购。

  • 等离子刻蚀设备
  • 物理气相沉积设备
  • 化学气相沉积设备
  • 氧化扩散设备
  • 湿法设备
  • 气体测量控制
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