采用igbt及super junction等结构制造的功率器件,具有高速、低损耗的特点,在风电、光伏、智能电网、有轨交通、汽车电子等新兴产业上得到广泛应用。 在功率半导体领域,北方华创自主研发的刻蚀机、物理气相沉积设备、立式炉设备、清洗机、单/ 多片式硅外延设备以及卧式氧化/ 扩散炉已获得多家功率器件客户的认可和批量采购。