flouris a201主要用于8英寸低温合金化及退火工艺。设备具有自动化程度高、系统性能稳定的特点，可以实现快速升降温。主要由工艺腔室、传输系统、快速降温系统、尾气处理系统和温度控制系统等组成，可实现铜退火及合金等工艺，微环境可以进行低氧含量控制。
