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真空装备

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碳材

由于半导体及光伏行业的发展，碳材需求量激增。北方华创开发出高温石墨化炉、cvd炉、石墨纯化炉、化学气相渗透炉、连续石墨化炉，均已成功进入国内头部客户并得到认可与应用。

石墨纯化设备

graphite purification furnace

gp120

石墨纯化炉

化学气相沉积工艺设备

cvd/cvi furnace

cvi330

化学气相沉积炉

连续高温设备

continuous high-temperature furnace

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