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半导体装备

气体测量控制

质量流量计(mass flow meter, mfm)和质量流量控制器(mass flow controller, mfc)是高精度的自动测量和控制装置,用于各种流体(含蒸汽)质量流量的测量和控制。mfm精密地测量流体的质量流量,mfc精密地控制流体的质量流量的同时,还可以累计测量流体的流量。北方华创依据工业领域客户新的零部件产品需求进行探索研究,深挖技术,创新产品,不断拓宽产品线,形成了流量测控、压力测控、气路系统等系列气体测量控制产品,为半导体、太阳能、燃料电池、真空镀膜、分析仪器等行业客户提供定制化零部件综合尊龙官方平台的解决方案及产品服务。

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