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cs100 数字式质量流量计/质量流量控制器
cs100 digital mass flow meter/ mass flow controller
- 设备特点
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- 模拟式产品或数字式产品
- ±15v双电源或 24v单电源供电
- 金属密封或橡胶密封
- semi标准尺寸产品或紧缩型产品
- 产品应用
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- 流量规格(n₂)10sccm~50slm
- 准确度±1.0% s.p. (≥35% f.s.) ±0.35% f.s.(<35% f.s.)
- 重复精度±0.2% f.s.
- 响应时间≤ 1 sec
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