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半导体装备 semiconductor

cs100

数字式质量流量计/质量流量控制器

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cs100 数字式质量流量计/质量流量控制器
cs100 digital mass flow meter/ mass flow controller
cs100产品是基于七星流量计cs系列产品技术平台开发,在拥有恒功率传感器技术,数字传感器平衡技术,vcp线控制技术的基础上,采用客户零点补偿功能(cgc),更好的适应客户环境。
设备特点
  • 模拟式产品或数字式产品
  • ±15v双电源或 24v单电源供电
  • 金属密封或橡胶密封
  • semi标准尺寸产品或紧缩型产品
产品应用
  • 流量规格(n₂)
    10sccm~50slm
  • 准确度
    ±1.0% s.p. (≥35% f.s.) ±0.35% f.s.(<35% f.s.)
  • 重复精度
    ±0.2% f.s.
  • 响应时间
    ≤ 1 sec
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