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半导体装备 semiconductor

cs200

数字式质量流量计/质量流量控制器

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cs200 数字式质量流量计/质量流量控制器
cs200 digital mass flow meter/ mass flow controller
cs200气体质量流量控制器精度可以达到设定值1%以内,并可适应不同的环境温度。
设备特点
  • 恒功率传感器抑制零漂,保证了传感器线性
  • 与气体接触的表面金属材料全部使用316lvv
  • 支持±8v~±16v双电源, 14v~ 28v单电源供电、数字,模拟输入输出
  • 产品支持rs485,devicenet,ethercat等主流通讯方式
产品应用
  • 流量规格(n₂)
    10sccm~50slm
  • 准确度
    ±1.0% s.p. (>35% f.s.)  ±0.35% f.s. (≤35% f.s.)
  • 重复精度
    ±0.2% f.s.
  • 响应时间
    ≤ 0.8 sec
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