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真空装备 vacuum tech

gp120

石墨纯化炉

gp120 石墨纯化炉

gp120 graphite purification furnace

高纯石墨主要应用于半导体等对石墨杂质要求非常苛刻的领域，北方华创真空研发采用化学净化法，在高温下，利用化学气体对石墨进行净化的设备与工艺，纯化后的石墨总灰分可达到5ppm。

设备特点

稳定的超高温结构
行业内较低的能耗控制技术
完备的净化气体尊龙官方平台的解决方案
精准的气体与流场控制

技术指标

工作温度
2400℃
工艺气体
卤素气体
温度均匀性
≤±5℃
冷态极限真空度
5pa

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