12英寸单片常压硅外延系统 -尊龙官方平台

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hesper e230a

12英寸单片常压硅外延系统

hesper e230a 12英寸单片常压硅外延系统

hesper e230a 12 inch single wafer atmospheric pressure silicon epitaxy system

hesper e230a适用于12英寸n/p硅外延生长，产品自主研发了多路多区进气导流结构、多区红外加热温控系统，具备高洁净腔室控制技术、膜厚均匀性控制技术、电阻率均匀性控制技术，产品各项指标均达到先进水平。

设备特点

专业的气流场和加热场设计提供优良的工艺性能
高效传输设计可提高产能
单、双、四腔兼容设计，可满足不同客户需求

产品应用

晶圆尺寸
12英寸
沉积材料
硅
适用工艺
n&p常压硅外延
适用领域
功率半导体、衬底材料、科研领域

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