12英寸立式高温氧化炉 -尊龙官方平台

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theoris x302h

12英寸立式高温氧化炉

theoris x302h 12英寸立式高温氧化炉

theoris x302h 12 inch vertical high-temp oxidation furnace

theoris x302h主要用于12英寸1000℃-1200℃高温和超高温氧化和退火工艺。该机台为立式单腔炉管系统，工艺处理过程实现了高度自动化。系统主要由传输模块、工艺模块、电源柜等部分组成。

设备特点

先进的颗粒控制技术
先进的金属污染控制技术
高精度温度场控制技术
支持快速升/降温度技术
高产能

产品应用

晶圆尺寸
12英寸
适用材料
硅
适用工艺
高温干/湿氧氧化、dce氧化、掺氮氧化、高温退火
适用领域
先进集成电路、功率半导体、衬底材料

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