先进封装 advanced packaging
智能型手机、物联网等终端产品朝高效能、低成本、低功耗及小面积等产品要求发展,而摩尔定律的推进速度不断放缓,且制程微缩带来的单位成本降低的效益明显下降,使得先进封装技术成为产业发展的新动力。为满足市场需求,新兴的封装技术向集成和晶圆级发展,薄膜重布线技术和通孔技术越来越多的被使用到。在先进封装领域,naura为客户量身打造的ubm/rdl金属沉积设备、tsv金属沉积设备、tsv刻蚀设备及工艺已经实现了在国内主流先进封装企业的批量生产, 并不断获得客户的重复采购订单; 全新descum设备已完成研发并已正式投放市场。
清洗设备 cleaning tool
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12英寸单片清洗机广泛应用在90nm-28nm 集成电路、先进封装、微机电系统领域。
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石英舟/管清洗机,可用于12英寸及以下尺寸的扩散、外延等设备的石英舟/管、碳化硅管的清洗。
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全自动槽式清洗机采用模块化设计,可根据客户需求进行工艺扩展。