products & services
products & services
光伏电池 photovoltaic
太阳能光伏发电做为可再生能源的重要组成部分，是国家能源长期发展及环境保护的战略性、基础性产业。太阳能光伏发电已经成为调节能源消费结构、促进国民经济产业转型的杠杆，国际上以其作为传统能源的替代品。太阳能光伏制造领域，naura自主创新，研发了国内应用于高效光伏电池生产的负压扩散炉，打破了国际技术垄断，获得市场认可。其光伏交钥匙工程，作为国内整线设备出口厂商，成功获得海外客户订单，进入国际供应链体系。其在线湿法刻蚀清洗机、在线湿法制绒机、槽式单晶制绒机、卧式扩散氧化炉、pecvd等设备均已实现进口替代。
化学气相沉积设备 cvd
-
适用于光伏领域sinx、siox、sionx、alox薄膜淀积。单台产能大于160mw，工艺效果优异。具备快速镀膜功能
氧化扩散设备 oxide/diff
-
horis d8573al用于低压环境下磷扩散及硼扩散工艺，实现高方阻、高均匀性、高产能的需求。应用于光伏及半导体领域。
清洗设备 cleaning tool
-
石英舟/管清洗机，可用于12英寸及以下尺寸的扩散、外延等设备的石英舟/管、碳化硅管的清洗。
-
槽式黑硅制绒清洗机应用于多晶硅电池黑硅制绒，提高电池转换效率，降低电池成本。
-
槽式单晶制绒清洗机应用于形成单晶硅电池金字塔绒面，提高电池转换效率。
-
槽式清洗机应用于光伏行业的硅芯/硅棒、硅块等硅材料的清洗。
-
在线式多晶制绒清洗机应用于多晶硅电池的在线连续式去损伤清洗和制绒。
-
在线式湿法刻蚀设备应用于多晶硅电池连续式磷硅玻璃祛除和高效刻边。
移载传送设备 indexer
-
用于晶硅太阳能自动化生产线，负责各工艺单元之间片篮的自动传输
辅助设备 facility
-
药液供给/回收系统为各研究所、高等院校等提供灵活的客户化定制机台，满足客户需求。
-
用于对硅片或其他工件表面进行刻蚀或清洗工艺的需求
气体测量控制 gas measuring control
-
cs100系列产品采用客户定制化设计并独创零点补偿功能，更好的适应客户环境。
-
cs200系列是可满足半导体、光伏、真空镀膜高端客户的数字式流量测控产品。