horis p8571a管式pecvd设备 horis p8571a tube type pecvd -尊龙官方平台

  在设备同等占地面积下提高单台设备产能，优化工艺效果，一直是晶硅电池片生产线厂商对管式pecvd设备的迫切需求。horis p8571a管式pecvd通过对进气方式、石墨舟、工艺反应腔室的设计，保证在工艺性能优异的基础上提高单管的装片量，以及通过提高炉体的快速回温能力、工艺腔室真空抽速能力来压缩工艺时间，同时，提高单台设备的工艺管数量。horis p8571a管式pecvd设备通过上述性能的提升，单台满足160mw以上的产能和工艺需求。