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科研设备 scientific equipment
一个国家基础科学研究的深度和广度，决定着这个国家原始创新的动力和活力，要保证国家的科技发展，离不开科研设备，科研工作者们用科研手段和装备，为了认识客观事物的内在本质和运动规律而进行的调查研究、实验、试制等一系列的活动，为创造发明新产品和新技术提供理论依据。从事科研工作的研究人员们，经常会自己搭建研究某种工艺或材料的实验装置，在化学、物理、生物、材料等多个研究领域中，都会使用气体，不同的试验中，气体的作用不尽相同，有的气体是作为载气；有的气体参与反应，无论是哪种方式？这些气体的精确测量与控制都是必须的，科研设备中会优先选用热式质量流量控制，体积小巧，易于使用，可以准确的控制设备中的气体流量，深受科研工作者们欢迎。
等离子刻蚀设备 etcher
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gse系列刻蚀机是应用于8英寸及以下iii-v族半导体、失效分析和研发等领域多种材料刻蚀工艺的干法刻蚀机。
物理气相沉积设备 pvd
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应用于先进封装、集成电路、功率器件、mems、led等领域的8寸pvd磁控溅射设备
辅助设备 facility
气体测量控制 gas measuring control
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cs300系列产品是针对集成电路、半导体照明等行业研制的数字流量测控产品。
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cs100系列产品采用客户定制化设计并独创零点补偿功能，更好的适应客户环境。
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cs200系列是可满足半导体、光伏、真空镀膜高端客户的数字式流量测控产品。
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d07 系列是精度高、重复性好、稳定可靠等特点模拟控制的流量测控产品。
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流量显示仪/积算仪是为测控产品提供工作电源、操作控制等的显示仪表。