semiconductor
ae at6000 全自动物料传输系统 mcs ae at6000 automatic material transportation system mcs
ae at6000全自动物料传输系统用于晶硅太阳能自动化生产线,负责各工艺单元之间片盒片篮的自动分配和传输。采用高空传输方式,具备mes接口,可兼容多种在线设备。整个系统可分为两段:前段负责在线制绒、扩散和湿法刻蚀工艺单元之间片篮的自动分配和传输,后段负责湿法刻蚀、pecvd和丝网印刷工艺单元之间片篮的自动分配和传输
应用领域:
光伏
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