备品备件 parts
北方华创微电子可以为泛半导体领域的客户提供适用于4"~12"不同规格半导体装备的备品备件,这些备品备件可以分别应用于刻蚀机(etch)、物理气相沉积(pvd)、化学气相沉积(cvd)、离子注入(imp)、炉管(furnace)等半导体设备。
气体测量控制 gas measuring control
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cs300系列产品是针对集成电路、半导体照明等行业研制的数字流量测控产品。
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cs100系列产品采用客户定制化设计并独创零点补偿功能,更好的适应客户环境。
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cs230产品是中大流量产品,最高流量可达300slm氮气。
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d07 系列是精度高、重复性好、稳定可靠等特点模拟控制的流量测控产品。