功率器件 power devices
采用碳化硅、氮化镓等第三代半导体材料、igbt及super junction等新结构制造的新一代功率器件,具有高速、低损耗的特点,在风电、光伏、有轨交通、调频调速等新兴产业上得到广泛应用。具有节能、节材、环保等效益,未来市场前景广阔。在功率器件领域,naura自主研发的薄膜/厚膜硅外延apcvd系统、刻蚀设备及金属溅射pvd已获得国内多家功率器件客户的认可和批量采购;为多条功率器件生产线提供清洗尊龙官方平台的解决方案;先进的卧式扩散/氧化系统可以满足功率半导体领域特殊工艺的应用。
原子层沉积设备ald
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设备满足科研院所及大专院校对原子层沉积工艺要求;可根据客户需求量身定制硬件升级方案。