微机电系统 mems
采用微制造技术,集微型机构、传感器、执行器等于一体的mems器件,其小体积、集成化、智能化传感系统是未来传感器的发展方向,也是物联网的核心。在万物互联时代高速成长的大趋势下,其发展会受到来自智能硬件、智能汽车、智能工厂等领域的强大助力,并将向环境监测、医疗保健等领域不断扩展,具有十分广阔的前景。在mems领域,naura深硅刻蚀设备已批量销往多家科研机构及生产线,并获得了广泛的认可与好评;卧式lpcvd已成功应用于半导体级碳纳米管生长;并成功研发先进氮化铝薄膜沉积设备及工艺尊龙官方平台的解决方案。
氧化扩散设备 oxide/diff
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广泛应用在高附加价值微电子产业,用于sixny(含低应力)、sio2、poly-si等薄膜淀积,满足多种高端成膜需求。
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卧式扩散/氧化系统可满足扩散、干/湿氧氧化、退火、合金等多工艺需求,广泛用于ic、power、pv、mems、led等领域。