微机电系统 mems
采用微制造技术,集微型机构、传感器、执行器等于一体的mems器件,其小体积、集成化、智能化传感系统是未来传感器的发展方向,也是物联网的核心。在万物互联时代高速成长的大趋势下,其发展会受到来自智能硬件、智能汽车、智能工厂等领域的强大助力,并将向环境监测、医疗保健等领域不断扩展,具有十分广阔的前景。在mems领域,naura深硅刻蚀设备已批量销往多家科研机构及生产线,并获得了广泛的认可与好评;卧式lpcvd已成功应用于半导体级碳纳米管生长;并成功研发先进氮化铝薄膜沉积设备及工艺尊龙官方平台的解决方案。
清洗设备 cleaning tool
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12英寸单片清洗机广泛应用在90nm-28nm 集成电路、先进封装、微机电系统领域。
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全自动湿法腐蚀设备搭载多种先进干燥技术,可实现晶片干进干出。
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手动槽式清洗机功能灵活,配置丰富,操作界面友好,应用广泛。
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手动湿法腐蚀设备尺寸兼容性好,设备稳定性高,腐蚀均匀性好。