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ae cg1000气路柜 ae cg1000 gas storage cabinet
ae cg1000气路柜可存放多种不同的工艺气体钢瓶，每种工艺气体可独立控制，集中统一管理。兼容多种规格的气体钢瓶，可为多台设备提供各种工艺气体。所有管路均经过严格的压力检测及氦质谱仪检漏；配有安全防爆玻璃窗、排风口、气体泄漏检测报警装置，气路柜主要用来存储工艺气体钢瓶及工艺气体气路的控制。气路柜可存放的多种不同的工艺气体钢瓶，每种工艺气体可独立控制，集中统一管理。气路柜广泛用于集成电路、半导体照明、功率器件、微机电系统以及光伏电池等领域
应用领域：
集成电路，光伏，功率半导体，微机电系统
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