ws-aln100/150倒片机中包含1台6轴机械手组件，设备前端设有6个loadport工位，每3个对应1个腔室。设有2个buffer工位，每个buffer上可以放19片wafer对应1个腔室中的4寸wafer，2个冷却工位分别对应左右2个腔室。在目前的机构形式下的tack time时间为≤10s,具备较高的稼动率水平。
