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elede® g380a/g380d

芯片刻蚀机

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elede® g380a/g380d 芯片刻蚀机
elede® g380a/g380d etcher
elede® g380a/g380d刻蚀机是应用于led芯片刻蚀工艺的等离子体干法刻蚀机,配置单/双反应腔、托盘式、多片tray in tray out全自动作业。设备适用于mini led、micro led多种材料刻蚀,覆盖蓝绿、红黄芯片刻蚀全流程。
设备特点
  • 满足多种材料刻蚀工艺应用,工艺窗口宽
  • 单托盘放置9片4英寸/4片6英寸晶圆,实现高产能,同时确保良好的刻蚀均匀性
  • 全路径全真空,全自动晶片传输,颗粒控制优
产品应用
  • 晶圆尺寸
    2、4、6 英寸及特殊尺寸
  • 适用材料
    氮化镓、氧化硅/氧化钛、砷化镓、磷化镓、铝镓铟磷、氮化硅、钨化钛、有机物等
  • 适用工艺
    电极、深槽隔离、dbr、红黄光、钝化层、金属阻挡层等刻蚀
  • 适用领域
    半导体照明、mini led
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