horic d200扩散炉，主要用于半导体产线8寸及以下晶圆做扩散、氧化、退火、合金等工艺，设备工艺性能好、产能大、可靠性高，可满足半导体领域的多种产线需求。设备包含净化工作台、炉体机箱、气源柜及电气控制系统四大部分，可根据不同客户需求进行配置。
