polaris 系列主要用于8寸及以下晶圆金属薄膜沉积工艺。该机台为多腔室cluster结构，可支持6个工艺模块，能够进行全自动工艺处理。系统主要由传输模块、工艺模块、灰区部件、电源柜等组成。其中工艺模块主要用于晶圆表面预处理和薄膜沉积，传输模块用于把晶圆安全而准确的送达到指定工位。
