itops 溅射系统主要用于4、6、8英寸ito沉积工艺。系统由1个传输模块、4个工艺模块、附属设备以及电源柜组成。该机台为多腔室设备，6k平台可配备不同的工艺腔室，并且可搭配loading机实现自动化生产。
