itops pvd aln 溅射系统主要用于2、4、6英寸aln沉积工艺。该机台为单工艺腔室设备，配备传输腔室和冷却腔室。aln设备具有占地面积小、结构简单、操作灵活、维修方便、耗材便宜等优势；具备与国际竞争对手同等的工艺能力。
