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半导体装备 semiconductor

tru series

热回收系统

tru series 热回收系统

tru series thermal recycling unit

oven设备是目前tft产线耗电量较大的设备，oven设备热排管道排出的是230℃的高温有机废气（光刻胶升华物），大量的热能被浪费掉。在排气管路上安装热能回收的tru设备可达到节能效果，同时也可实现客户端运营成本的下降。

设备特点

结构设计合理，技术成熟，具有良好的动态品质
压差变化小，系统稳定
风量处理能力可根据客户要求设定调节
降低客户oven 设备加热所需的耗电量，最大节电效率在65％以上

产品应用

压差变化值
0~20pa
排热量压力损耗
不影响烘炉内部的气体平衡
节电量
≥45±5kwh（ 2 sets）
适用领域
平板显示、发电等领域的废热气回收及再利用

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