products & services
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12英寸单片清洗机广泛应用在90nm-28nm 集成电路、先进封装、微机电系统领域。
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12英寸堆叠式单片清洗机采用三层工艺腔室、多层晶圆传输系统、各工艺腔室独立的工艺体系等技术。
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石英舟/管清洗机，可用于12英寸及以下尺寸的扩散、外延等设备的石英舟/管、碳化硅管的清洗。
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全自动槽式清洗机采用模块化设计，可根据客户需求进行工艺扩展。
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石英舟/管清洗机，可用于12英寸及以下尺寸的扩散、外延等设备的石英舟/管、碳化硅管的清洗。
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槽式黑硅制绒清洗机应用于多晶硅电池黑硅制绒，提高电池转换效率，降低电池成本。
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槽式单晶制绒清洗机应用于形成单晶硅电池金字塔绒面，提高电池转换效率。
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槽式清洗机应用于光伏行业的硅芯/硅棒、硅块等硅材料的清洗。
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在线式多晶制绒清洗机应用于多晶硅电池的在线连续式去损伤清洗和制绒。
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在线式湿法刻蚀设备应用于多晶硅电池连续式磷硅玻璃祛除和高效刻边。
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12英寸单片清洗机广泛应用在90nm-28nm 集成电路、先进封装、微机电系统领域。
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石英舟/管清洗机，可用于12英寸及以下尺寸的扩散、外延等设备的石英舟/管、碳化硅管的清洗。
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全自动槽式清洗机采用模块化设计，可根据客户需求进行工艺扩展。
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12英寸单片清洗机广泛应用在90nm-28nm 集成电路、先进封装、微机电系统领域。
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全自动湿法腐蚀设备搭载多种先进干燥技术，可实现晶片干进干出。
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手动槽式清洗机功能灵活，配置丰富，操作界面友好，应用广泛。
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手动湿法腐蚀设备尺寸兼容性好，设备稳定性高，腐蚀均匀性好。
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全自动湿法腐蚀设备搭载多种先进干燥技术，可实现晶片干进干出。
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手动槽式清洗机功能灵活，配置丰富，操作界面友好，应用广泛。
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手动湿法腐蚀设备尺寸兼容性好，设备稳定性高，腐蚀均匀性好。
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全自动湿法腐蚀设备搭载多种先进干燥技术，可实现晶片干进干出。
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手动槽式清洗机功能灵活，配置丰富，操作界面友好，应用广泛。
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手动湿法腐蚀设备尺寸兼容性好，设备稳定性高，腐蚀均匀性好。
