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bcube系列wc3000a、wc2000a、wc1000a 全自动槽式清洗机 bcube series wc3000a、wc2000a、wc1000a automated bench cleaning system
在半导体制造工艺中，上一道工序所遗留的超微细颗粒污染物、金属残留、有机物残留物等，光阻掩膜或残留会导致芯片良率下降等问题，这需要通过清洗工艺来
解决。另一方面，由于设备产能需求的不断提升，清洗设备需要由早期的手动、半自动设备升级为全自动设备。对未来的清洗技术发展而言，清洗工艺的稳定性和均
匀性，设备与工厂端的数据交互等要求会越来越高，这些需求将带来对槽式清洗设备的进一步挑战。
应用领域：
微机电系统、半导体照明、功率半导体
适用工艺：
预清洗、去胶清洗、rca清洗、扩散前/后清洗、外延前清洗等
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