展会地点: 云端线上
展会时间:2022年6月14日-7月12日
中国国际半导体技术大会(cstic 2022)将于6月14日-7月12日在semi云端线上举行。近百位世界顶级专家汇聚一堂,共享前沿技术,内容涵盖ic设计、器件与集成、光刻、刻蚀、cmp、封装测试、化合物半导体等。
北方华创的资深专家们将在分论坛三- dry & wet etch and cleaning带来先进的刻蚀技术成果。在此,北方华创诚挚邀请您与我们一同交流探讨前沿刻蚀技术,推动产业进步,创造无限可能。
naura演讲时间
-symposium iii: dry & wet etch and cleaning-
session iii: feol/mol etching
演讲题目:《bitline etch process development for 1y nm dram manufacturing》
讲师:姚兴俊 先生
session iii: feol/mol etching
演讲题目:《200/150/100mm compatible, icp/ccp etch total solutions》
讲师:张轶铭 博士
session iv: plasma source and wet etch/clean
演讲题目:《sadp etch process development using pr core for sub 17nm dram》
讲师:徐力田 先生
session v: beol etching and memory etch
演讲题目:《hard mask etch process development for patterning 60nm magnetic tunnel junction》
讲师:李晓辉 女士
session vi: other etch and patterning
演讲题目:《trench etch for sic power devices》
讲师:谢秋实 先生