booster a630 单片退火系统 booster a630 single wafer anneal system -尊龙官方平台

home>products & services>semiconductor>物理气相沉积设备 pvd>booster a630 单片退火系统 booster a630 single wafer anneal system
semiconductor
booster a630 单片退火系统 booster a630 single wafer anneal system
  单片退火系统(single-wafer anneal)应用于集成电路后段制程晶圆的热处理工艺。具体实现功能有:1. 物理去除作用,包含水汽、表面的有机残余去除,有利于恢复cmp之后low k材料的k值,有利于contact中w的填充,增加barrier的粘附性;2. 化学作用,还原cuo,降低金属导线的电阻。该系统包括工艺模块、传输模块、辅助模块和电气控制模块等。智能化的软件操作系统可以与工厂自动化系统对接,实现自动生产。设备推出以来,便得到了客户的高度好评,实现了多台销售。单片退火系统(booster a630/a630 plus)可用于集成电路后段工艺中...

应用领域:

  集成电路12英寸生产线


适用工艺:


  集成电路后段工艺中基片的快速热处理


网站地图