booster a630 单片退火系统 booster a630 single wafer anneal system -尊龙官方平台

  单片退火系统(single-wafer anneal)应用于集成电路后段制程晶圆的热处理工艺。具体实现功能有：1. 物理去除作用，包含水汽、表面的有机残余去除，有利于恢复cmp之后low k材料的k值，有利于contact中w的填充，增加barrier的粘附性；2. 化学作用，还原cuo，降低金属导线的电阻。该系统包括工艺模块、传输模块、辅助模块和电气控制模块等。智能化的软件操作系统可以与工厂自动化系统对接，实现自动生产。设备推出以来，便得到了客户的高度好评，实现了多台销售。单片退火系统(booster a630/a630 plus)可用于集成电路后段工艺中基片的快速热处理，设备兼容性强，独特的工艺控制技术和条件，传输平台兼具awc功能，稳定的工艺重复性和颗粒表现，传输平台可实现硅片位置自动校准，软件具有腔室维护流程自动执行等功能。为客户工艺集成提供更大空间，同时低coc也为客户降低了生产成本。