北方华创12吋单片退火设备成功进入28纳米生产线 -尊龙官方平台

2017新年伊始，北方华创全资子公司北方华创微电子自主研发的booster a630单片退火设备，成功搬入上海华力微电子二厂，是用于28纳米工艺制程的高端电子工艺装备。

booster a630设备，应用于集成电路后段制程中硅片表面清洁处理、k值恢复等工艺。目前，该产品凭借工艺温度均匀性高、颗粒控制力强、处理时间短、单位产能大等特点，获得了客户的良好评价。

booster a630设备自推出以来，先后进入中芯国际（上海）、中芯国际（北京）、华力微电子等国内主流集成电路制造厂商生产线，参与验证及生产，累计流片数量逾60万片，积累了良好的技术指标和稳定的运行记录，已成为公司量产机台。未来北方华创将积极谋求与更多客户合作的机会，把握产业发展的契机。