ses680a 硅apcvd系统 ses680a silicon apcvd system -尊龙官方平台

硅apcvd系统 ses680a silicon apcvd system硅外延材料作为半导体器件的主要材料，支撑着当代微电子产业的发展。微电子产业对硅外延材料电阻率均匀性、厚度均匀性和缺陷密度等方面有着越来越严格的要求，以保证功率器件的耐压、耐击穿等电学性能。硅外延设备决定着硅片外延材料的制造水平。硅外延设备可以实现高质量的外延薄膜生长，适用于厚度5-130µm范围的外延工艺，n型、p型掺杂精确可调。该设备具有多项专利创新技术，包括中频感应加热温度控制技术，进气结构设计技术和传输控制技术等。