dse200系列等离子刻蚀机 dse200 series plasma etcher -尊龙官方平台

  dse 200设备是针对硅功率器件开发的专用刻蚀设备，主要用于8英寸以下igbt、mosfet及super junction中的deep trench刻蚀。不同于mems工艺的深硅刻蚀，dse 200设备针对的是单步平滑刻蚀工艺，保证功率器件的电压性能。dse 200设备针对研发/中试线/量产领域可以灵活配置平台方式。目前dse 200已得到多家客户采购，设备稳定性、重复性、产品生产良率等均满足用户需求。