北方华创电感耦合等离子体刻蚀机成功获得清华大学采购订单 -尊龙官方平台

近日，北京北方华创微电子装备有限公司（简称“北方华创微电子”）受邀参加了清华大学关于电感耦合等离子体刻蚀机的采购招标，经过激烈的角逐，公司凭借丰富的刻蚀产品应用经验、优异的设备工艺性能，完善的客户服务在竞争中脱颖而出，赢得了技术专家的肯定，以总得分第一名的成绩成功中标，顺利签订了清华大学该项目的采购订单。

北方华创微电子自主研发的电感耦合等离子体刻蚀机可以满足硅、氧化硅、金属等多种材料的刻蚀工艺，突破了精密等离子体控制、硅片表面温度精确控制、高气流均匀控制等多项关键技术，以独特的硬件设计达到了高速率、高均匀性、低损伤和低缺陷、精确尺寸和形貌控制、低颗粒污染等要求，多项关键指标达到国际先进水平。目前，该设备已批量销往多家科研机构及生产线，服务于微纳制造、光通信、化合物半导体、功率器件等多个新兴领域，为国内先进科技贡献力量。

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