semiconductor
bcube系列 药液供给/回收系统 bcube series chemical delivery/reclaim system
在各研究所、高等科研学校实验中需要多种化学药液,化学药液是通过药液桶手动倒入实验设备,存在很大的危险。且使用过的废液不能直接排放,需要回收处理。bcube系列药液供给/回收系统能够为各研究所、高等院校提供客户定制化的药液供给/回收系统。与传统药液供给、回收系统相比,bcube系统能够根据客户需求客户化定制机台,与主机台提供多种通讯模式,可实现自动配液,实现不同浓度的精确配比。满足客户对化学药液浓度、温度的要求。
应用领域:
集成电路、先进封装、光伏、微机电系统、半导体照明
适用药液:
st-250、ekc、h2o2、 nh4oh、hcl、 hf、tmah、 boe、h2so4、 hno3、h3po4 等化学药液
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