bcube系列wc3000a、wc2000a、wc1000a 全自动槽式清洗机 bcube series wc3000a、wc2000a、wc1000a automated bench cleaning system -尊龙官方平台

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bcube系列wc3000a、wc2000a、wc1000a 全自动槽式清洗机 bcube series wc3000a、wc2000a、wc1000a automated bench cleaning system
   在半导体制造工艺中,上一道工序所遗留的超微细颗粒污染物、金属残留、有机物残留物等,光阻掩膜或残留会导致芯片良率下降等问题,这需要通过清洗工艺来 解决。另一方面,由于设备产能需求的不断提升,清洗设备需要由早期的手动、半自动设备升级为全自动设备。对未来的清洗技术发展而言,清洗工艺的稳定性和均 匀性,设备与工厂端的数据交互等要求会越来越高,这些需求将带来对槽式清洗设备的进一步挑战。

应用领域:

  微机电系统、半导体照明、功率半导体


适用工艺:

预清洗、去胶清洗、rca清洗、扩散前/后清洗、外延前清洗等




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