bcube系列 wc1000a 槽式清洗机 bcube series wc1000a wet bench cleaning system -尊龙官方平台

  槽式清洗机用于硅芯/硅棒、硅块的腐蚀、清洗和烘干，通常是将硅芯/硅棒、硅块在硝酸和氢氟酸的体积比为5:1的浓硝酸和氢氟酸混合液中进行腐蚀清洗，在混合腐蚀液中，首先氢氟酸将硅芯/硅棒、硅块表面的二氧化硅溶解，然后硝酸使硅芯/硅棒、硅块表面单质硅氧化为二氧化硅，之后氢氟酸又将硝酸氧化产生的这层氧化膜溶解掉，两种酸如此交替作用从而使硅芯/硅棒、硅块表面剥落掉一层，即可实现清洁硅芯/硅棒、硅块的目的。

  硅芯/硅棒、硅块的清洗对污染、杂质的去除要求越来越高，同时要求设备性能稳定、安全可靠、成本合理、自动化程度高、使用成本低，适宜生产线上大批次操作，并且大多属于非标设备，根据客户要求具体定制。