horis l6371 多功能 lpcvd horis l6371 multifunction lpcvd -尊龙官方平台

  与传统方式对比，horis l6371 多功能 lpcvd设备通过气路、腔体结构设计，配合相应的工艺配方，成功实现了薄膜应力在较大范围内可控制，解决了由于薄膜应力存在，引起的变形、光学和力学性能改变的问题；特殊设计的过滤系统，解决了传统腔体和器件易受污染的问题，使之具有良好的洁净度，改善产品的电性能和良率；具备良好的薄膜工艺均匀性、重复性；设备系统易于维护；具有丰富行业经验和成熟的配套工艺，可满足客户对多种薄膜淀积工艺需求。