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nmc612g 12英寸刻蚀机 nmc612g 12 inch etcher
nmc612g设备是针对nmc612g 12英寸刻蚀机是电感耦合高密度等离子体干法刻蚀机，主要用于ic集成电路领域的金属铝刻蚀工艺，以及micro oled领域金属和非金属刻蚀工艺。该产品为多腔室集群设备（cluster tool），能够进行全自动串行及并行工艺处理。系统主要由传输模块（transfer module）、刻蚀工艺模块（etch process module）、去胶模块（strip process module）、电源柜（remote ac power rack）等组成，其中刻蚀工艺模块用于进行金属或非金属刻蚀工艺，去胶模块用于去除金属刻蚀后的残余光刻胶，传输模块用于把晶片安全而准确地传送到指定工位，电源柜用于为系统提供电源。nmc612g刻蚀机提供多种均匀性调试手段，提升工艺均匀性水平。
应用领域：
集成电路领域
适用工艺：
al etch、多晶硅刻蚀、介质刻蚀、al/mo/ito等金属刻蚀。