elede® 380g /g380c刻蚀机 elede® 380g /g380c etcher -尊龙官方平台

  elede 380系列刻蚀机是led芯片制作的关键设备, 可以用于正装芯片，倒装芯片，垂直芯片这三种芯片中的电极刻蚀（刻蚀材料gan, algainp/gap），隔离刻蚀(刻蚀材料gan, gaas)，钝化层刻蚀（刻蚀材料sio_2, sin_x）,介质反射层刻蚀（刻蚀材料sio₂ 和tio₂），金属阻挡层刻蚀（刻蚀材料tiw）。良好的刻蚀均匀性对芯片的亮度和良率至关重要，elede 380系列产品结合线圈设计、下电极设计和托盘设计，实现良好的工艺均匀性控制，满足不同产品制程中的多种刻蚀材料工艺应用，elede 380系列刻蚀机是led领域标杆产品。