polaris b系列 bumping 物理气相沉积系统 polaris b series bumping pvd -尊龙官方平台

  polaris b系列pvd，是由北方华创自主设计和生产的金属薄膜物理气相沉积系统，针对圆晶级先进封装中的ubm金属、重布线等应用。polaris b系列pvd金属薄膜物理气相沉积系统主要由大气平台，真空传输平台，去气腔室（degas），预清洁腔室和工艺腔室组成，设备采用cluster tool结构，可配置多个工艺腔室、预清洗腔室和去气腔室，适合封装领域薄膜制备大规模生产。polaris b系列pvd为全自动大产能设备，具有反应腔自动开闭盖，wafer自动传输，工艺去气，晶片表面预清洁、薄膜沉积完全自动化等特点。