gta 离子微粒吸附设备 gta thermal amc unit (tau) -尊龙官方平台

  在平板显示行业和半导体制造行业中，在对面板或者精密器件曝光、显影/涂布等处理过程中，对面板或者器件所处的工艺环境要求非常高，环境中的微粒杂质直接影响到加工工艺的良率，因此为面板或者器件提供一个洁净的恒温恒湿环境尤为重要。

  gta离子微粒吸附设备是在进行曝光、显影/涂布等工艺前提供洁净空气，并保持空气的恒温恒湿状态，来提高工艺制程良率，减少工艺设备被有机杂质腐蚀。