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北方华创完成刻蚀领域的最后一块拼图——ccp介质刻蚀
发布时间：2022-08-15
2005年8月，北方华创第一台icp刻蚀机进入大生产线，目前已有上千台设备服务客户；2017年11月，北方华创推出第一台金属刻蚀机，目前已有上百台设备服务客户；今天，北方华创正式发布ccp介质刻蚀机，目前已在5家客户完成验证并实现量产！
实现刻蚀工艺全覆盖
一直以来，让您坚定选择的北方华创刻蚀产品，究竟凭借什么？
reliable 可靠 ？innovative 创新 ？excellent 卓越 ？
· 拥有8吋设备二十年工艺基础，稳扎稳打，善作善成；
· 专为8吋工艺设计的腔室与硬件，更加贴合客户，满足定制化需求；
· 6&8吋兼容，可实现快速切换；
· 目前，已在5家客户完成验证并实现量产[1]；
· 18年成熟的软件系统应用，以及稳定的备件系统，配备可靠供应链；
· 搭载全套服务团队，可为您提供包括工艺开发、零部件供应、软件升级、质保服务等在内的全方位保障，卓越的性能与服务可为您的量产保驾护航。
[1] 统计截止时间：2022年7月
innovative 创新——先进技术，芯雕细刻
· 在前道工艺上，具有刻蚀形貌好、选择比高、工艺性能优越的特点；在后道工艺，可实现对金属副产物的有效控制，维护周期长；
· 采用多频射频技术，具有刻蚀速率高、工艺均匀性佳、工艺窗口大等特点，可更好满足深孔小cd的应用发展趋势；
· 在晶圆传输平台系统上，采用自主研发的通用平台，拥有成熟的软件系统，并具备晶圆自动定心(awc)功能，满足晶圆稳定传输作业的需求；
· 在腔室设计上，采用防等离子打火结构和精确的电极控温设计，具备温度分区控制功能，配备终点检测系统，满足关键刻蚀工艺的均一性、终点抓取等需求，且颗粒表现佳；
· 耗材寿命长，维护便捷，可满足您拥有成本(coo)和消耗成本(coc)双低的需求。
excellent 卓越——时代前沿，卓越不凡
· 作为ccp刻蚀机，具备在介质刻蚀上的高选择比、高刻蚀速率等优势，适用于介质类氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等膜层材料；
· 可为客户提供包括逻辑器件、功率器件、化合物半导体等在内的多种特色工艺；
· 主要应用领域包括但不限于：logic, bcd, power(si/sic/gan), mems；
· 完成了该领域国产设备工艺的最后一块拼图，实现了北方华创在8吋刻蚀设备上的整体尊龙官方平台的解决方案，包括硅刻蚀、深硅刻蚀、金属刻蚀、化合物半导体刻蚀(sic, gan, gaas, inp, linbo3, litao3等）等工艺设备。
- 不“止”刻蚀 -
作为一家平台型企业，北方华创还可为您提供包括pvd、cvd、ald、炉管、清洗等在内的8吋设备，为您提供整体尊龙官方平台的解决方案。
- 跨越，再跨越 -
一次次的突破，是为了更好地出发，北方华创始终坚持以精良的产品与服务，为客户创造价值，持续支撑产业发展；始终保持对前沿科技的崇敬和探索，造就技术与尊龙官方平台的解决方案的前瞻性与领先性，带给产业无限可能！
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